レーザーテックが半導体製造装置の元締めの
KLAテンコールに大きく勝てる日が来るかも？！という
可能性について考えていきたいと思います。
上の半導体欠陥検査装置の売上高を図を見ていただいてもわかるように、
KLAテンコールは半導体の検査装置において圧倒的な存在感を放っている会社です。
どのような企業でどれくらい強い企業なのかというのを下のブログで詳しく説明しているので、是非見てみてください！
そもそもレーザーテックは何をしているのか？
マスクブランクスとマスクの検査装置を開発・製造している会社です。
マスクとは、半導体の設計図になります。
下の図が半導体の作り方を簡易的に示した図です。
一番上のマスクが設計図なので、光を当ててウェハ上に転写していく仕組みになっています。これが半導体の一般的な作り方です。
ウェハには無数のチップが製造されて、ひとつひとつパッケージングをしてデバイスに組み込まれるという流れです。
その設計図であるマスクも製造工程があります。
マスクの原盤（マスクブランクスと呼びます）があります。この図表では２番にあたります。
そのマスクブランクスを加工してマスクを造ります。
レーザーテックはこの❷マスクブランクスでの検査装置においてシェアがとても高いです。（ほぼ独占に近いです。）
❸のマスクでは、レーザーテックとその強豪KLAの２社が市場をシェアしています。
そのあと❹ウェハで半導体をつくるプロセスでも欠陥検査しますが、ここではKLAがかなり強いです。
というところで❸のマスクの過程で、もしかしたらレーザーテックがKLAを出し抜けるのではないかとEUVで起こっています。
こちらがEUVの各キーとなる工程とその工程においてどのような企業が有力なサプライヤーかを示している図表です。EUV露光装置のASMLが作成した図表です。
図表の一番左のオレンジ色が工程分野です。
青色のどのような機能の検査装置が必要かを示しています。
一番左の企業名のところを見ると、レーザーテックが３つも挙がっています。
レーザーテック以外はASML、アプライドマテリアルズなど非常に有力な企業の名前挙がっている中でレーザーテックもかなりサプライチェーンとして活躍しています。
レーザーテックにおいてEUVや先端の半導体でどような製品があるかご紹介していきます。
一番左のマジックスはレーザーテックのフラグシップモデルとして、マスクブランクスの欠陥検査装置においてずっと高い競争力をもっていた製品です。
これはEUV関係無く、微細化が進んでいくと使われる装置です。
左から2つめ、ABICSはEUV向けのマスクブランクスの欠陥検査装置です。
EUVになるとマスクの性質が変わります。レーザーテックは早い段階からEUV向けの装置は開発していて既にHOYAなどに使われています。かなり技術としても確率されている装置です。
左から３つめのACTISは、これからの期待の星です。
EUV光を使って検査できる装置です。ペリクルというものがついたEUVパターンマスクも検査できます。
これは大変素晴らしいことで、どれくらいペリクルが厄介だったかというと、
ペリクル＝マスクの防護膜でマスクが加工の過程で消耗されるのを守るもの
しかし、現在のEUVはあまりペリクルが使われていないそうです。
そのためマスクの消耗が激しく、マスクの交換しなければならないのでコストが掛かることに加えて、マスク交換によるチリやゴミなどが紛れ込んで汚染されてしまうリスクが上がります。
コストや生産の観点からペリクルは必要という方向に向かっていますが、
実際のところはペリクルは作るのに高い技術が必要、付けれたとしても検査が可能かどうか分かりませんでした。
検査に関しては、EUV光を使う必要があったので大変難しく、最大手のKLMも苦戦していました。
そしてなんと2019年にレーザーテックはACTISの開発成功を米国で開催されるフォトマスク技術に関する国際学会である SPIE Photomask Technology + EUV Lithography 2019で発表しました。
この技術革新で世界の半導体業界がレーザーテックに大きな信頼を寄せるようになりました。
長くなりましたが、このACTISは非常に高度な技術が必要とされる検査装置なので単価と収益性が大幅アップの可能性が高いです。
おそらく強豪のKLMも開発が不可能だった、まだ取り組んでいる製品をレーザーテックがいち早く製品化して世界からも認められていると思うと非常に喜ばしいです。
EUV向けのという最先端で課題（ペリクル）となっている分野でソリューションを提供できたことによりトップ企業たちを凌駕できる可能性が非常に高いです。
本当に素晴らしいことです！！
これは、長いスパンで（３〜５年）で花が開いてくる話なので、まだまだ長い目で見守っていきたいです。
今後のレーザーテックの活躍がとても楽しみですね。
最後まで読んでくださりありがとうございました！
これからも株をがんばっていきまっしょい！
半導体株や半導体業界を勉強するなら下記の本がおすすめです。
「半導体が工場でどうやって製造されるのか？」、「半導体工場は水や電力等のインフラはどうしているのか」「半導体製造装置はどのように並べられるのか」、等ネットでは入手できない知識を得れます。
私は何年も前に読みましたが、今でも読み返します。個人的には、これほど半導体に関する有用な知識が得られた本はありませんでした。他の人より1歩も2歩も知識で差がつけられると思います。
